武汉理工大学采购离子束发生器
发布日期：2025-10-11
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为便于供应商及时了解采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》等有关规定，现将 武汉理工大学 2025 年 10-11 月采购意向公开如下：
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序号 |
采购项目 名称 |
采购需求概况 |
预算金额 （万元） |
预计采购时间 （填写到月） |
备注 |
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1 |
离子束发生器 |
拟采购一套离子束发生器一套 能高效解离 Ar、O？、N？等多类工艺气体；束流强度及束压范围，可满足不同精度实验需求。从源头减少杂质污染，适配半导体薄膜等敏感工艺；配备双路水冷系统，保障长时间稳定运行，还支持离子束溅射、辅助沉积、刻蚀等多工艺快速切换，便于参数监测与优化。 |
98.50 |
2025年10-11月 |
本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
武汉理工大学
2025年10月09日
采购公告-离子束发生器.pdf
